走进3D视觉系列（五）：且难且前行的“MEMS微镜” - 搜狐
Jun 29, 2017 · mems微镜是指采用光学mems技术制造的，把微光反射镜与mems驱动器集成在一起的光学mems器件。mems微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转mems微 …
MEMS振镜简介 - CSDN博客
Oct 28, 2020 · mems微镜可以分为静态型和动态型两种。静态型mems微镜通常用于光学测量，如白光干涉仪、光栅仪等，而动态型mems微镜则可以用于光学成像，如数字投影仪、光学放大 …
结构和原理 | MEMS 振镜 | 滨松光子学株式会社 - Hamamatsu
在由磁体产生的磁场内，围绕振镜的线圈中流动的电流基于弗莱明定律产生导致振镜倾斜的洛仑兹力。另外，振镜可以通过 mems 处理形成的两个弹簧的组合以二维方式驱动。入射到振镜上 …
MEMS微振镜系统方案提供商_西安知微传感技术有限公司
知微传感以自有的mems微振镜为核心器件与技术壁垒，研制微型结构光发生器 和微型mems扫描模组，以及 3d机器视觉等产品。 MEMS芯片 + 查看更多
MEMS微镜原理及其在3D视觉中的应用--机器视觉网
Oct 22, 2024 · mems微镜是一种硅基光速调制结构。使用mems微镜来调制空间光，具有结构简单、速度快等优点，有助于实现3d结构光模组的小型化、低成本和高集成，从事实现更丰富场景 …
MEMS微镜驱动技术：趋势、创新及未来前景-电子工程专辑
Dec 26, 2024 · mems微镜的性能主要取决于驱动器的选择、特定驱动器产生的力，以及组件和微镜本身的几何形状。mems微镜可根据自由度、镜面类型和驱动器等参数进行分类。其中，驱 …
MEMS微镜设计、制造及应用 - 电子工程专辑 EE Times China
Jun 27, 2024 · mems微镜指采用mems制造技术，把微光反射镜与mems驱动器集成在一起的光学器件。 它是反射型微光学器件的典型代表，在投影仪、激光雷达、汽车智能前灯、光刻机 …
中科融合：高精度MEMS微振镜芯片——感知真实3D 世界的眼睛
May 13, 2023 · 中科融合的核心技术之一是高精度mems微振镜芯片，拥有自研mems芯片到微纳光学工艺、光机电集成、超小型激光投射光机等全套技术。 具备体积小、功耗低；光路简单， …
Feb 23, 2018 · 目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的MEMS扫描 镜，可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。 该款微振镜针对对点对点（受迫振动）光束扫描进行了特殊设计及 …
无锡微文半导体科技有限公司
微文科技小型mems激光雷达利用mems微镜代替传统激光雷达机械扫描方式，使用飞行时间（tof）原理，可实现对目标二维/三维深度信息扫描，并生成点云图像。