2023年9月，许多人为“光刻厂”的构想喜大普奔。据说中国可以另辟蹊径，不是用一台台的光刻机，而是用加速器做一个巨大的光源，可以供28 nm、14 nm、7 nm、5 ...

In der Praxis werden hierzu Zinntröpfchen verdampft (g+), das entstehende Plasma gibt die EUV-Strahlung ab. Dazu sind extrem leistungsfähige Laser erforderlich, zehntausende Tröpfchen müssen ...

LIVERMORE, Kalifornien (IT-Times) - Ein US-Forschungsinstitut will mit Hilfe von Lasertechnologie die Extreme Ultra Violett (EUV)-Effizienz steigern und meldet nun einen Durchbruch in der ...